下記は主な製品の一覧表です。各種ウェハ径、膜種、膜厚に対応いたします。
製品リストに載っていないものでも、お客様のご要望に応じたウェハを提供しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

●ベアシリコンウェハ（25mm,50mm,75mm,100mm,150mm,200mm,300mm,450mm）

●各種ブランケットウェハ　（200mmウェハ、300mm ウェハ対応）　
　-Cu, Ta/ TaN, W, Ti/ TiN, Al-Cu, SiN, PE-TEOS, HDP, HARP oxide, Poly-Si, Th-Ox, ACL, SiC, SiON, Photo resist,?Polyimide　
    -各種Low-k, ULK, High-k 　
　-各種貴金属 Ru, Co, CoEP, Pt, Au

●各種パターンウェハ　（200mmウェハ、300mm ウェハ対応）　
　-MIT 854/754パターンウェハ (W, Cu, Al) -MIT 864/764 STI パターン, ILDパターンウェハ
　-AMT STIパターンウェハ (min.0.18um LS)
　- 3D パターンウェハ　
　-KrF, ArF Litho, 液浸リソとEtchedウェハ 　
　-High-dose Implantedウェハ 　
　-TSV テストウェハ, 低温TEOS, 低温SiNウェハ

●微細 トレンチ,ホール ウェハ

●硝子ウェハ

●シリコンウェハの各種分析も承ります。