Al-Cu 残渣 ウェハ2012.6.19

洗浄評価用にAlエッチング後残渣を残したパターンです。Al-line形成, Via開口 on/thru-TiN, Passivation開口各工程のウェハの製作が可能です。

Al-Cu Line
Al-Cu residual wafers(1)

Al-Cu Hole on/ through TiN
Al-Cu residual wafers(2)

Passivation Open
Al-Cu residual wafers(3)