製品リスト2012.6.19

~下記は主な製品の一覧表です。各種ウェハ径、膜種、膜厚に対応いたします。~
製品リストに載っていないものでも、お客様のご要望に応じたウェハを提供しておりますので、お気軽にお問い合わせください。

ベアシリコンウェハ(25mm,50mm,75mm,100mm,150mm,200mm,300mm,450mm)

●各種ブランケットウェハ (200mm ウェハ、300mm ウェハ対応) 
 -Cu, Ta/ TaN, W, Ti/ TiN, Al-Cu, SiN, PE-TEOS, HDP, HARP oxide, Poly-Si, Th-Ox, ACL, SiC, SiON, Photo resist, Polyimide 
   -各種Low-k, ULK, High-k  
 -各種貴金属 Ru, Co, CoEP, Pt, Au

●各種パターンウェハ (200mm ウェハ、300mm ウェハ対応) 
 -MIT 854/754 パターン ウェハ (W, Cu, Al) -MIT 864/764 STI パターン, ILD パターンウェハ
 -AMT STI パターン ウェハ (min.0.18um LS)
 - 3D パターンウェハ 
 -KrF, ArF Litho, 液浸リソとEtched ウェハ  
 -High-dose Implanted ウェハ  
 -TSV テストウェハ, 低温TEOS, 低温SiN ウェハ

微細 トレンチ, ホール ウェハ

硝子 ウェハ 

シリコンウェハの各種分析も承ります。