AMT Min. 0.18um STI CMP ウェハ2012.6.19

MIT STIパターンを発展させ、微細な線幅の評価と 10%刻みのdensity依存評価が出来るAMTオリジナル STI CMP用パターンです。200mm/300mmとも同構造で製作・評価可能です。
AMT Min. 0.18um STI CMP wafer AMT Min. 0.18um STI CMP wafer(2) AMT Min. 0.18um STI CMP wafer(3)