200mm 高Aspect ratioのトレンチパターン2012.9.06

Φ200mm 高Aspect ratioのトレンチパターンです。低予算で先端配線幅の埋め込み評価が可能です。

Center
High Aspect Ratio Trench Pattern1

Middle
High Aspect Ratio Trench Pattern2

Edge
High Aspect Ratio Trench Pattern3