エリプソメトリによる積層膜の膜厚測定2012.6.19

エリプソメトリによる積層膜の膜厚測定が可能です。

線種:紫→測定データ、緑→フィッティング・データ

Ellipsometry measurement of multi-stack layers of patterned wafer
                                                                                                         波長(nm)
データ例:
Ellipsometry measurement of multi-stack layers of patterned wafer()